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QFHDS-XY系列平面式气浮运动台
来自：北京瑞邦精控科技有限公司
元/人民币
发布时间：2024-04-22
关注次数：74
产品参数
商品详情
规格指标
|
单位 |
QFHDS-300-300 |
QFHDS-500-500 |
QFHDS-800-800 |
|||||
|
轴系 |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程 |
mm |
300 |
300 |
500 |
500 |
800 |
800 |
|
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.25 |
±0.25 |
|||
|
标准值 |
±0.2 |
±0.5 |
±0.5 |
|||||
|
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.075 |
±0.1 |
|||
|
标准值 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
|||||
|
直线度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.1 |
±0.2 |
|||
|
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
|||||
|
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.2 |
±0.25 |
±0.3 |
|||
|
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
|||||
|
Pitch Roll Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
±1 |
±1 |
|||
|
标准值 |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
|||||
|
正交性 |
Plus (1) |
arc sec |
2 |
|||||
|
标准值 |
5 |
|||||||
|
电子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
||||||
|
最大速度 (空载) (4) |
m/s |
1 |
||||||
|
最大加速度 (空载) (4) |
m/s² |
5,（10, 20, 30 定制） |
||||||
|
最大负载 |
kg |
50 |
||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
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